人民網(wǎng)北京9月15日電 (方經(jīng)綸)據(jù)工業(yè)和信息化部官網(wǎng)消息,為促進(jìn)首臺(tái)(套)重大技術(shù)裝備創(chuàng)新發(fā)展和推廣應(yīng)用,加強(qiáng)產(chǎn)業(yè)、財(cái)政、金融、科技等國家支持政策的協(xié)同,工業(yè)和信息化部近日印發(fā)《首臺(tái)(套)重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄(2024年版)》(以下簡稱《指導(dǎo)目錄》),其中在電子專用裝備目錄下,“集成電路生產(chǎn)裝備”包括氟化氬光刻機(jī),光源193納米,分辨率≤65nm,套刻≤8nm。
按照市場(chǎng)監(jiān)管總局等5部門于今年4月聯(lián)合印發(fā)的《中國首臺(tái)(套)重大技術(shù)裝備檢測(cè)評(píng)定管理辦法(試行)》,重大技術(shù)裝備是國之重器,事關(guān)綜合國力和國家安全。中國首臺(tái)(套)重大技術(shù)裝備,是指國內(nèi)實(shí)現(xiàn)重大技術(shù)突破、擁有知識(shí)產(chǎn)權(quán)、尚未取得明顯市場(chǎng)業(yè)績的裝備產(chǎn)品,包括整機(jī)設(shè)備、核心系統(tǒng)和關(guān)鍵零部件等。
《首臺(tái)(套)重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄(2024年版)》截圖。
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