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我國(guó)成功研制新型光學(xué)晶體 可滿足半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)等領(lǐng)域重大需求
2023年07月14日 16:24 來(lái)源:央視網(wǎng) 關(guān)燈

  央視網(wǎng)消息:激光是二十世紀(jì)人類最重大的發(fā)明之一。最近,中國(guó)科學(xué)院科研團(tuán)隊(duì)成功研制出一種新型非線性光學(xué)晶體全波段相位匹配晶體,實(shí)現(xiàn)了整個(gè)透光范圍內(nèi)的激光輸出,它可以滿足我國(guó)半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)等領(lǐng)域的重大需求。

  非線性光學(xué)晶體是獲得不同波長(zhǎng)激光的物質(zhì)條件和源頭。在晶體中實(shí)現(xiàn)應(yīng)用波段相位匹配被普遍認(rèn)為是重要的技術(shù)挑戰(zhàn)之一,決定最終激光輸出的功率和效率。其中,利用晶體各向異性的雙折射相位匹配技術(shù)是應(yīng)用最廣泛的彌補(bǔ)相位失配的有效途徑。

  中科院新疆理化所晶體材料研究中心潘世烈科研團(tuán)隊(duì),在提出非線性光學(xué)晶理想狀態(tài)假設(shè)的理論基礎(chǔ)上,經(jīng)過(guò)不斷實(shí)踐,成功創(chuàng)制出新非線性光學(xué)晶體,即全波段相位匹配晶體。該研究揭示了全波段相位匹配晶體的物理機(jī)制,并指導(dǎo)獲得一例非線性光學(xué)晶體(GFB)。它首次通過(guò)全波段雙折射相位匹配技術(shù),對(duì)晶體材料透過(guò)范圍內(nèi)任意波長(zhǎng)的相位匹配,實(shí)現(xiàn)了深紫外激光輸出,可以滿足半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)等領(lǐng)域的重大需求。

  中科院科研團(tuán)隊(duì)介紹,該類晶體可采用水溶液法生長(zhǎng)出高質(zhì)量、超大尺寸晶體,使其有望成為應(yīng)用于我國(guó)大科學(xué)裝置的新晶體材料。此項(xiàng)成果已于近日在國(guó)際學(xué)術(shù)期刊《自然·光子學(xué)》在線發(fā)表。

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編輯:方琳
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